エッチング工程 | フォトマスク製造フロー | ディー・ティー・ファインエレクトロニクス株式会社

エッチングとは

印刷などで、銅版に防食剤を塗って針などで彫り、露出した銅面を酸などで腐食させて凹版を作る技法をエッチングと言いますが、これと同じ工程がフォトマスク製造におけるエッチングです。レジストが除去された部分の金属薄膜をエッチングして金属薄膜を剥がし、高精細の回路パターンを形成します。

ドライエッチング装置：
真空中のエッチング室にガスを入れて圧力調整を行い、高周波電源を印加してプラズマを発生させます。そしてその中のイオンとラジカルを用いてエッチングします。
ウエットエッチング装置：
薬液を用いてエッチングする装置。