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フォトマスクの表面を保護するために、精密洗浄が終わったら薄い保護膜＝ペリクルを貼付けます。またペリクル装着前と装着後に、フォトマスク上の異物付着の有無を検査します。
ペリクル装着で使用する主な装置
- ペリクル貼付け装置
ペリクル装着前後の異物検査で使用する主な装置
- 異物検査装置
ペリクル担当技術者の主な業務
- 新規立ち上げ
・新しいマスク製造における新規生産設備の仕様検討と生産ライン化 - 貼付け・測定精度条件出しと設定
- 装着装置・異物検査装置の維持管理
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フォトマスクの表面を保護するために、精密洗浄が終わったら薄い保護膜＝ペリクルを貼付けます。またペリクル装着前と装着後に、フォトマスク上の異物付着の有無を検査します。
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