Interview

綿密な計画で導入される製造装置無事立ち上がった時の感動はひとしお

私は、技術部第1技術課に所属し、製造工程における2種類の装置の管理を担当しています。一つは、最初の加工工程である、ブランクスと呼ばれる原版に電子ビームで回路パターンを露光する「EB描画装置」、もう一つは、作成したフォトマスクがお客様からの仕様どおりのパターン幅でできているかを測定する「寸法測定装置」です。
DTFで使用する装置は、私たち技術部で装置の維持管理を行いますが、その他にも技術部の大きな業務として、装置の導入があります。装置の導入においては、重量や大きさ、必要とする動力類の引き込み位置を考慮した設置場所の決定、仕様の検討、評価基準などの条件決めからスタートし、社内承認が下りたら具体的に動き出します。装置メーカーの方と綿密に計画し、設置場所の工事、搬入、立ち上げ、動作検証を経てやっと稼働することができます。DTFは、半導体における最先端のフォトマスク製造がミッションであり、お客様からの要求は限りなく高いです。計画から稼働まで、長いものでは2年近くかかる場合もあり、無事導入を終えたときの感動は言葉になりません。