フォトマスクを知ろう！
フォトマスクの驚くべき数値や、製造装置の性能を紹介します。
フォトマスクの基礎知識（外形寸法）
フォトマスクの基礎知識（微細な構造）
フォトマスクに関わるすごい数値
- 1nm（ナノメートル） = 0.000001mm（ミリメートル）Ïu12288? 髪の毛の太さは1本約50～100nm
超高精度な電子ビーム描画装置の性能が凄い！
1nm以下の精度でビーム位置と形状を制御可能です。これは、上空3.5万kmの静止衛星から35km2のエリアのすべてのゴルフボールを射抜く精度に匹敵します。
- 1nm（ナノメートル） = 0.000001 mm（ミリメートル）
電子ビーム描画装置 EBMシリーズ
超高感度なDUV光欠陥検査装置の性能が凄い！
フォトマスク全面を35nmの欠陥検出感度で検査するということは、80分で関東平野に存在するゴルフボールを一個も見逃さずに検査する厳密さに匹敵します。
マスク欠陥検査装置 NTシリーズ
