フォトマスク製造フロー
測定・外観検査工程
測定・外観検査とは
描画～現像～エッチング～レジスト剥離～洗浄という工程を経てできあがったフォトマスクについて、「寸法測定」では、パターン寸法が設計どおりの寸法で作成されているか、「位置座標測定」ではマスク上に形成された回路パターンが位置座標上に正確に描かれているか、「形状検査」では設計データと回路パターンに形状の相違がないかを測定・検査しフォトマスクの精度と品質を保障します。
測定・検査に使用する主な装置
- 寸法測定装置：
回路パターンの寸法が設計どおりの寸法で作成されているか測定検査する装置。 - 位置座標測定装置：
回路パターンが、設計データどおりの位置座標上に正確に描かれているかを測定検査する装置。 - 欠陥検査装置：
設計データと比較し、回路パターンの形状に欠陥・異物が存在するかを検査する装置。
マスク欠陥検査装置 NTシリーズ
マスク欠陥検査装置の検査光学系構造図
測定・検査担当技術者の主な業務
- 新規立ち上げ
- 新しいマスク製造における新規生産設備の仕様検討と生産ライン化
- 測定・検査精度条件出しと設定
- 測定・検査装置の維持管理
